高端電子工藝裝備

【1】集成電路裝備

產業介紹:電控公司的集成電路裝備以七星電子(北方微)(A股代碼:002371)為載體,借助上市平臺和國家重大科技專項加快產業發展,產品以集成電路設備為主,并結合市場需求向光伏、先進封裝、LED、MEMS、光波導、功率器件和化合物半導體等應用領域拓展。七星電子(北方微)先后承擔11項國家重大科技02專項,技術水平快速提升,填補了國內12英寸高端刻蝕機、PVD、CVD、氧化爐、清洗機等設備技術空白,大部分產品實現了28nm的產業化認證,刻蝕機、PVD已開始14nm技術的研發。 

12英寸28nm刻蝕機、PVD、氧化爐等設備均已進入了國內知名集成電路制造企業大生產線,多款產品已成為LED、先進封裝、MEMS等泛半導體領的主流產品,市場開拓工作成效顯著。其中12英寸、28nmHardMask PVD設備及12英寸55nm硅刻蝕設備已作為中芯國際的Baseline設備。

重要產品:刻蝕設備(Etch)、化學氣相沉積設備(CVD)、物理氣相沉積設備(PVD)立式爐、LPCVD、超精細清洗機、ALD設備。 

 

【2】鋰電裝備

北京電控可提供全套的鋰離子電池極片生產所需的攪拌、涂布、輥壓、分切設備。

 

成功研制大容量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)攪拌設備,已掌握自動上料技術、攪拌過程程序化控制、攪拌料評價等技術;成功開發出了擠出式涂布設備,涂布速度10-20m/min(最高達到30m/min)。成功開發出了液壓伺服輥壓設備,極片軋制速度達到20-30m/min(最高達到60m/min),掌握了極片熱軋技術、輥電鍍技術、AGC液壓伺服控制型等核心技術。

 

分切設備可分切卷材寬度達700mm,生產效率達到50m/min(最高水平達到80m/min),并開發了設備CCD測控系統降低了產品廢品率。于此同時,成功的搭建了20000Ah鋰離子動力電池中試線,為自產設備提供了工藝驗證平臺,具備提供整線解決方案的能力。

 

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